半导体设备
行业概述
半导体设备行业是芯片制造的核心支撑,涵盖光刻、刻蚀、封装测试等关键环节,对传动部件的精度、稳定性、洁净度要求达到纳米级。减速机作为半导体设备的核心动力部件,直接影响芯片制程良率。当前行业受技术突破与产能扩张驱动,对减速机的低振动、高寿命、无尘化设计需求迫切。
行业面临的挑战
01
设备振动影响晶圆加工精度
02
真空环境要求高,密封易失效
03
洁净室需严防油脂污染
04
高负载下定位精度难保持
05
设备长期连续运行可靠性低
06
微小空间内要求高扭矩输出
方案核心产品
方案特点
超高精度
超低振动
卓越可靠性
实现的价值
≤0.02mm
振幅控制
晶圆良率提升1.2%
晶圆良率提升1.2%
±5″
重复定位精度
(弧秒级控制)
(弧秒级控制)
+30%
扭矩密度提升
空间占用减少25%
空间占用减少25%









